مشاوره فنی پیش از خرید
تامین بهترین تجهیزات
قیمت منصفانه
نصب و راه اندازی
گارانتی و خدمات پس از فروشمشخصات محصول
فلومتر بروکس سری GF – MFC Brooks
کنترل کننده جریان جرمی و فلومتر بروکس سری GF
کنترل کننده جریان جرمی و فلومتر بروکس سری GF قادر به تحویل سریع و قابل تکرار گازهای فرایندی با خلوص بالا و فوق العاده بالا بوده و این ویژگی از جمله ویژگی های سری GF100 کنترل کننده جریان جرمی شرکت Brooks می باشد. سری GF100 که برای نیمه هادی ، MOCVD و سایر برنامه های کنترل جریان گاز طراحی شده است ، از قابلیت اطمینان صنعت استاندارد نیمه هادی ها فراتر رفته و عملکرد قابل تکرار و بسیار پایدار را در طول زمان تضمین می کند. فناوری استاندارد MultiFloTM یک MFC را قادر می سازد تا هزاران نوع گاز و ترکیب محدوده را بدون حذف آن از خط گاز یا به خطر انداختن دقت پشتیبانی کند. نتیجه: افزایش انعطاف پذیری و کارایی فرآیند همراه با بالاترین سطوح خلوص گاز فرآیند صنعت برای کمک به حداکثر رساندن بازده و بهره وری. 
محصولات سری GF ارائه شده توسط کیمیا کمیکالز شامل محصولات کنترل کننده جریان جریمی زیر می شود:
Models GF40 / GF80 / GF81 / GF100 / GF101 / GF120 / GF120SDS / GF125 / GF125HA / GF126 / GF135
امکانات فلومتر بروکس کنترل کننده جریان جرمی و متر بروکس سری GF
- پایداری صفر بلند مدت 0.5٪ مقیاس کامل در سال
- زمان استقرار: 700 میلی ثانیه – 1 ثانیه
- سرعت جریان در مقیاس کامل تا 300 slpm
- مسیر جریان مهر و موم تمام فلز: گزینه ای برای پایان سطح Ra 4μ یا 10μ اینچ
- حسگر Hastelloy® T-Rise مقاوم در برابر خوردگی ، تکرارپذیری اندازه گیری را در دمای بالا بهبود می بخشد
- قابلیت برنامه ریزی گاز و برد MultiFloTM – یک دستگاه ، هزاران نوع گاز و ترکیب برد بدون حذف MFC از خط گاز یا به خطر انداختن دقت نمایش محلی
- تحویل گاز اختیاری SDS
- DeviceNetTM ، RS-485 L-Protocol و رابط های آنالوگ
فواید فلوکنترلر بروکس سری GF
- ماراتن اجزای با عملکرد بالا از نظر قابلیت اطمینان هفت برابر استانداردهای صنعت نیمه هادی آزمایش شده است.
- تمام مسیرهای جریان فلزی ، مقاوم در برابر خوردگی با کاهش سطح و حجم ناپایدار ، خشک شدن سریعتر را در مراحل پاکسازی تضمین می کند.
- با MultiFloTM ، گازها و/یا محدوده های فرایند جدید را می توان در کمتر از 60 ثانیه تنظیم کرد – دیگر نیازی به حذف و کالیبراسیون MFC ها نیست.
- پلتفرم بسیار قابل تنظیم امکان جایگزینی و ارتقاء اکثر مارک های MFC فلزی مهر و موم شده ، از جمله مارک های سابق Celerity ، Mykrolis ، Tylan و UNIT را فراهم می کند.
- GF120 Safe Delivery System (SDS®) پیشرفته ترین کنترل کننده جریان جرمی افت فشار کم بروکس برای تحویل گازهای سیستم تحویل ایمن زیر جوی (SDS) مورد استفاده در فرآیندهای ایمپلنت و اچ است.
- صفحه نمایش راحت کاربر و پورت تشخیصی/خدمات مستقل به نصب ، نظارت و عیب یابی دستگاه کمک می کند.
- ماراتن اجزای با عملکرد بالا از نظر قابلیت اطمینان هفت برابر استانداردهای صنعت نیمه هادی آزمایش شده است
- تمام مسیرهای جریان فلزی ، مقاوم در برابر خوردگی با کاهش سطح و حجم ناپایدار ، خشک شدن سریعتر را در مراحل پاکسازی تضمین می کند
- با MultiFloTM ، گازها و/یا محدوده های فرایند جدید را می توان در کمتر از 60 ثانیه تنظیم کرد – دیگر نیازی به حذف و کالیبراسیون MFC ها نیست
- پلتفرم بسیار قابل تنظیم امکان جایگزینی و ارتقاء اکثر مارک های MFC فلزی مهر و موم شده ، از جمله مارک های سابق Celerity ، Mykrolis ، Tylan و UNIT را فراهم می کند.
- GF120 Safe Delivery System (SDS®) پیشرفته ترین فلومتر جریان جرمی افت فشار کم بروکس برای تحویل گازهای سیستم تحویل ایمن زیر جوی (SDS) مورد استفاده در فرآیندهای ایمپلنت و اچ است.
- صفحه نمایش راحت کاربر و پورت تشخیصی/خدمات مستقل به نصب ، نظارت و عیب یابی دستگاه کمک می کند
برنامه های کاربردی Mfc brooks
- ابزارهای اچ نیمه هادی
- سیستم های رسوب بخار شیمیایی فیلم نازک (CVD ، MOCVD ، PECVD ، ALD)
- سیستمهای رسوب فیزیکی بخار (PVD)
- سیستم های فرایند اپیتاکسیال
خرید MFC کنترل کننده جریان جرمی و متر بروکس سری SLA 5800 از طاها کیمیا تجهیز
شرکت طاها کیمیا تجهیز با تکیه بر دانش و توانمندی متخصصان خود، بعد از چندین سال تجربه در زمینه فروش تجهیزات و دستگاههای ابزار دقیق، سنجش ، اندازه گیری و تجهیزات علمی – ازمایشگاهی مورد نیاز در حوزه صنایع شیمیایی، نفت، گاز و پتروشیمی، تحقیقاتی و … فعالیت می کند. شما می توانید با یک تماس با مشاوران ما، راهنمایی های لازم جهت خرید محصولات مورد نظرتان را دریافت فرمایید.
0دیدگاه کاربران